Микро и нано сензори

Предмет: Микро и нано сензори

Код: ФЕИТ01008

Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС

Неделен фонд на часови: 3+0+0+3

Наставник: д-р Горан Стојановски

Содржина на предметната програма: Запознавање со микро и нано мехатроничките системи. Преглед на физичките појави кои се користат за проектирање на микро и  нано сензори. Преглед на различни типови на микро и нано сензори. Термички сензори, сензори за радијација, механички сензори, магнетни сензори, био-хемиски сензори. Карктеризација на сензори во лабораториски услови.

Литература:

1. Milena Djukanovic, Goran Stojanovski, “Lecture Notes on Microelectromechanical Systems”, DRIIMS Tempus, 2012
2. Stephen Beeby, Graham Ensell, Michael Kraft, Neil White, “MEMS Mechanical Sensors”, Artech House, Inc, 2004
3. Jan G. Korvink, Oliver Paul, “MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications”, William Andrew, Inc , 2006