Проектирање на микро и нано системи
Предмет: Проектирање на микро и нано системи
Код: ФЕИТ01013
Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС
Неделен фонд на часови: 3+0+0+3
Наставник: Проф. д-р. Славка Цанова
Содржина на предметната програма: Разлика помеѓу микросистеми и микро-електромеханички системи. Техники за проектирање на микро и нано системи. Моделирање на различните нивоа. Микрофабрикација. Процес на интегрирање на дизајнот. Техники на моделирање на микро и нано системите. Трансдусери за конверзија на енергија.
Литература:
- Stephen D. Senturia, “MICROSYSTEM DESIGN”, KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS, 2001
- James J. Allen, “Micro Electro Mechanical system Design”, Taylor & Francis, 2005
- Milena Djukanovic, Goran Stojanovski, “Lecture Notes on Microelectromechanical Systems”, DRIIMS Tempus, 2012