Основи на микрофабрикација и нанотехнологии

Предмет: Основи на микрофабрикација и нанотехнологии

Код: ФЕИТ05012

Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС

Неделен фонд на часови: 3+0+0+3

Наставник: Проф. д-р Катерина Ралева

Содржина на предметната програма: Вовед. Материјали во микрофабрикацијата. Микроелектронски технологии (подготовка на материјалот, литографија, дифузија, нагризување, јонска имплантација, интерконекции, пакување). Карактеристики на CMOS технологијата. MOS - кондензатор. Интеграција на технологии. BiCMOS - процес, интегрирана оптоелектроника. Технолошки симулатори. Воведни концепти за нанотехнологија.  Методи на фабрикација на наноматеријалите и наноструктурите (top-down, bottom-up, self - assembly). Алатки за карактеризација на  микро и нано елементи (STM - Scanning Tunneling Microscopy).

Литература:

1. Richard C. Jaeger, “Introduction to Microelectronic Fabrication (2nd edition)”, Prentice Hall (Volume 5 on Modular Series on Solid State Devices), 2001
2. Jan M. Rabaey, Anantha Chandrakasan, and Borivoje Nikolic, “Digital Integrated Circuits: A Design Perspective (2nd Edition)”, Prentice Hall, 2005
3. Charles P., Jr. Poole and Frank J. Owens, “Introduction to Nanotechnology: Selected Topics ”, John Wiley & Sons , 2003