Проектирање на микро и нано системи

Предмет: Проектирање на микро и нано системи

Код: ФЕИТ01017

Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС

Неделен фонд на часови: 3+0+0+3

Наставник: Проф. д-р. Славка Цанова

Содржина на предметната програма: Разлика помеѓу микросистеми и микро-електромеханички системи. Техники за проектирање на микро и нано системи. Моделирање на различните нивоа. Микрофабрикација. Процес на интегрирање на дизајнот. Техники на моделирање на микро и нано системите. Трансдусери за конверзија на енергија.

Литература:

1. Stephen D. Senturia, “Microsystem design”, kluwer academic publishers, 2001.
2. James J. Allen, “Micro Electro Mechanical system Design”,Taylor & Francis,2005.
3. Milena Djukanovic, Goran Stojanovski, Lecture Notes on Microelectromechanical Systems, DRIIMS Tempus 2012.