Микро и нано сензори

Предмет: Микро и нано сензори

Код: ФЕИТ01016

Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС

Неделен фонд на часови: 3+0+0+3

Наставник: Проф. Д-р Миле Станковски

Содржина на предметната програма: Запознавање со микро и нано мехатроничките системи. Преглед на физичките појави кои се користат за проектирање на микро и нано сензори. Преглед на различни типови на микро и нано сензори. Термички сензори, сензори за радијација, механички сензори, магнетни сензори, био-хемиски сензори. Карктеризација на сензори во лабораториски услови.

Литература:

1. Milena Djukanovic, Goran Stojanovski, Lecture Notes on Microelectromechanical Systems, DRIIMS Tempus 2012.
2. Stephen Beeby, Graham Ensell, Michael Kraft, Neil White, “MEMS Mechanical Sensors”, Artech House, Inc, 2004.
3. Jan G. Korvink, Oliver Paul, “MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications”, William Andrew, Inc, 2006.