Проектирање на микро и нано системи

Предмет: Проектирање на микро и нано системи

Код: ФЕИТ01013

Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС

Неделен фонд на часови: 3+0+0+3

Наставник: Проф. д-р. Славка Цанова

Содржина на предметната програма: Разлика помеѓу микросистеми и микро-електромеханички системи. Техники за проектирање на микро и нано системи. Моделирање на различните нивоа. Микрофабрикација. Процес на интегрирање на дизајнот. Техники на моделирање на микро и нано системите. Трансдусери за конверзија на енергија.

Литература:

1. Stephen D. Senturia, “MICROSYSTEM DESIGN”, KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS, 2001
2. James J. Allen, “Micro Electro Mechanical system Design”, Taylor & Francis, 2005
3. Milena Djukanovic, Goran Stojanovski, “Lecture Notes on Microelectromechanical Systems”, DRIIMS Tempus, 2012