Основи на микрофабрикација и нанотехнологии
Предмет: Основи на микрофабрикација и нанотехнологии
Код: ФЕИТ05012
Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС
Неделен фонд на часови: 3+0+0+3
Наставник: Проф. д-р Катерина Ралева
Содржина на предметната програма: Вовед. Материјали во микрофабрикацијата. Микроелектронски технологии (подготовка на материјалот, литографија, дифузија, нагризување, јонска имплантација, интерконекции, пакување). Карактеристики на CMOS технологијата. MOS - кондензатор. Интеграција на технологии. BiCMOS - процес, интегрирана оптоелектроника. Технолошки симулатори. Воведни концепти за нанотехнологија. Методи на фабрикација на наноматеријалите и наноструктурите (top-down, bottom-up, self - assembly). Алатки за карактеризација на микро и нано елементи (STM - Scanning Tunneling Microscopy).
Литература:
- Richard C. Jaeger, “Introduction to Microelectronic Fabrication (2nd edition)”, Prentice Hall (Volume 5 on Modular Series on Solid State Devices), 2001
- Jan M. Rabaey, Anantha Chandrakasan, and Borivoje Nikolic, “Digital Integrated Circuits: A Design Perspective (2nd Edition)”, Prentice Hall, 2005
- Charles P., Jr. Poole and Frank J. Owens, “Introduction to Nanotechnology: Selected Topics ”, John Wiley & Sons , 2003
