Нанометрологија и стандардизација

Предмет: Нанометрологија и стандардизација

Код: ФЕИТ08017

Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС

Неделен фонд на часови: 3+0+0+3

Наставник: Проф. д-р. Христина Спасевска

Содржина на предметната програма: Вовед во метрологијата на микро и нанотехнологиите.Терминологија и номенклатура во нанотехнологиите. Метролошки техники за мерење на нано вредности и ограничувачки фактори. Мерење на еднодимензионални, дведимензионални и тридимензионални структури. Неодреденост при мерњее на нано димензии. Метролошки принципи за индустриско добивање на нано производи. Стандарди во нанотехнологиите, основни области на стандардизацијата во нанотехнологиите.

Литература:

1. Richard Leach, “Fundamental Principles of Engineering Nanometrology”, William Andrew, 2009
2. Vladimir Murashov, John Howard, “Nanotechnology Standards”, Springer, 2011
3. Günter Wilkening, Ludger Koenders, “Nanoscale Calibration Standards and Methods”, John Wiley & Sons , 2006