Нанометрологија и стандардизација
Предмет: Нанометрологија и стандардизација
Код: ФЕИТ08017
Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС
Неделен фонд на часови: 3+0+0+3
Наставник: проф. д-р Христина Спасевска
Содржина на предметната програма: Вовед во метрологијата на микро и нанотехнологиите.Терминологија и номенклатура во нанотехнологиите. Метролошки техники за мерење на нано вредности и ограничувачки фактори. Мерење на еднодимензионални, дведимензионални и тридимензионални структури. Неодреденост при мерњее на нано димензии. Метролошки принципи за индустриско добивање на нано производи. Стандарди во нанотехнологиите, основни области на стандардизацијата во нанотехнологиите.
Литература:
- Richard Leach, Fundamental Principles of Engineering Nanometrology, William Andrew, 2009
- Vladimir Murashov, John Howard, Nanotechnology Standards, Springer, 2011
- Günter Wilkening, Ludger Koenders, Nanoscale Calibration Standards and Methods, John Wiley & Sons, 2006
- David J. Whitehouse, Handbook of Surface and Nanometrology, Taylor & Francis, 2010
- Wei-Hong Zhong, Nanoscience and Nanomaterials: Synthesis, Manufacturing and Industry Impacts, DEStech Publications, Inc, 2012